Турбомолекулярные насосы EBARA с керамическими подшипниками, серия EBT

Подача Q max, м3/ч: 2000Напор Н max, м: 1000Р max, бар: 97
Подобрать, спросить, уточнить

Цена от грн
Профессиональные услуги:
Консультация эксперта готовы ответить на все вопросы
Доставка и оплата:
Доставка и оплата по всей территории Украины
14 дней на обмен без лишних вопросов

 

Насосы EBARA с керамическими подшипниками, серия EBT  – это турбомолекулярные насосы с механическими подшипниками, дополняющие линейку турбомолекулярных насосов EMT MagLev. Серия EBT – это экономически эффективные решения для работы в условиях высокого вакуума.

Чрезвычайно прочная конструкция механического подшипника обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.

Насосы EBT70F и EBT240F оснащены дополнительным встроенным контроллером. Все турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT доступны с водяным или воздушным охлаждением, а EBT70F – с конвекционным охлаждением.

Особенности и преимущества:

  • Любая ориентация при установке.
  • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
  • Непревзойдённая надежность.
  • Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
  • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
  • Низкое энергопотребление.
  • Опционально коррозионностойкое исполнение.
  • Водяное или воздушное охлаждение.
  • Компактные размеры.
  • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Применение:

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов
  • Вакуумные печи.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT – технические характеристики

Характеристики моделейEBT70FEBT220FEBT240FEBT350FEBT450F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с75 (45)220 (100)240 (160)330 (210)450 (240)
Предельное остаточное давление, Па10-710-65×10-710-610-6
Максимальная степень сжатия по азоту108108108108108
Размер фланцев (вход/выход)NW63/KF16NW100/KF25NW100/KF25NW100/KF25NW160/KF25
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин2580808080
Время запуска, мин2-2,51-1,25,5-7,52-2,52-2,5
Время остановки, мин20-252,5-3,545-505-6,55-6,5
Масса, кг5810,5610

 

Характеристики моделейEBT800FEBT1100FEBT1400FEBT2400F
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с820 (650)1100 (720)1400 (750)2400 (1100)
Предельное остаточное давление, Па10-610-610-610-6
Максимальная степень сжатия по азоту108108108108
Размер фланцев (вход/выход)NW160/KF40NW200/KF40NW200/KF40NW250/KF40
Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин250250250500
Время запуска, мин7-9 7-95,5-75-7
Время остановки, мин27-3227-3215-1815-18
Масса, кг27 272947

×