Турбомолекулярные насосы EBARA EMT с магнитным подвесом

Подача Q max, м3/ч: 2000Напор Н max, м: 1000Р max, бар: 97
Подобрать, спросить, уточнить

Цена от грн
Профессиональные услуги:
Консультация эксперта готовы ответить на все вопросы
Доставка и оплата:
Доставка и оплата по всей территории Украины
14 дней на обмен без лишних вопросов

Турбомолекулярные насосы серии EMT представляют собой 5-осевые вакуумные насосы с магнитным подвесом, абсолютно безмасляные. Эти насосы подходят для различных применений, начиная с самой жесткой полупроводниковой промышленности, а также там, где необходимо применение сверхвысокого вакуума и сверхнизких вибраций. Помимо стандартной версии, серия EMT предлагает пять основных типов турбомолекулярных насосов – с терморегуляцией, коррозионной стойкостью, ультранизкой вибрацией, радиационной стойкостью и сверхвысоким вакуумом.

Турбомолекулярные насосы серии EMT имеют широкий диапазон давления с максимальным противодавлением до 3 Торр.

Модели турбомолекулярных насосов с регулируемой температурой снижают скорость конденсации побочного продукта и накопления сточных вод, обычно встречающихся внутри турбомолекулярного насоса. Насос с запатентованной теплоизоляционной конструкцией со встроенной системой управления температурой является наиболее энергоэффективным термомолекулярным насосом с регулируемой температурой на рынке.

Турбомолекулярные насосы со сверхвысоким вакуумом эффективно откачивают самые легкие газы из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума, уменьшая выделение газа и повышая эффективность сжатия водорода. Модель сверхвысоковакуумного турбомолекулярного насоса может достигать 10-10 мбар (10-8 Па) с коротким периодом обжига.

Модель турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией отвечает современным требованиям в области литографии EUV, микрообработки (MEMS), измерения ширины линии CD, электронной микроскопии SEM / TEM, аналитических инструментов XPS и нанотехнологий. У турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией амплитуда колебаний составляет менее 1 нм.

Особенности и преимущества:

  • Полностью магнитный подвес.
  • Любая ориентация при установке.
  • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
  • Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
  • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
  • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
  • Низкое энергопотребление.
  • Опционально коррозионностойкое исполнение.
  • Водяное или воздушное охлаждение.
  • Компактные размеры.
  • Возможность контроля оборотов ротора.
  • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном – литера B, коррозионно-стойком исполнении – литера C.

null

Применение:

  • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
  • Производство FDli.
  • Плазмохимическое травление.
  • Производство оптических элементов.
  • Вакуумные печи.
  • Имитаторы космического пространства.
  • Производство композитных материалов.
  • Научно-исследовательские установки.
  • Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.

Технические характеристики турбомолекулярных насосов EBARA серии EMT

Характеристики моделейEMT390MEMT420MEMT900MEMT1300MEMT2400MEMT3260M
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с340 (290)400 (300)900 (1050)1300 (1200)2400 (1100)3200 (2700)
Предельное остаточное давление, Па10-610-610-610-610-610-6
Максимальная степень сжатия по азоту108108108108108108
Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c3680(1290)3680(1290)5520(2760)5520(2760)5520(3680)5520(3680)
Скорость вращения ротора об/мин408004800033600336003360033600
Размер фланцев (вход/выход)NW100/NW25NW160/NW25NW160/NW25NW200/NW40NW250/NW40NW320/NW40
Допустимое выходное давление, Па400400500500200400
Длительность запуска, мин2-32-34-54-54-54-5
Длительность остановки, мин4-54-54-54-54-54-5
Масса, кг141434344580

Технические характеристики EBARA серии EMT-K
(с магнитным подвесом и встроенным контроллером)

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Характеристики моделейEMT2200MKEMT3300MKEMT4200MK
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с2200 (1800)3200(2700)4200(2800)
Предельное остаточное давление, Па10-610-610-6
Максимальная степень сжатия по азоту108108108
Размер фланцев (вход/выход)ISO-B250/NW40(NW50)ISO-B320/NW40ISO-B350/NW40-50
Допустимое выходное давление, Па400400160
Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c440040002500
Длительность запуска, мин7-1010-1212-14
Масса, кг636975

 


×