Турбомолекулярные насосы EBT (EBARA).

Насосы EBARA с керамическими подшипниками, серия EBT  – это турбомолекулярные насосы с механическими подшипниками, дополняющие линейку турбомолекулярных насосов EMT MagLev. Серия EBT – это экономически эффективные решения для работы в условиях высокого вакуума.

Чрезвычайно прочная конструкция механического подшипника обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.

Насосы EBT70F и EBT240F оснащены дополнительным встроенным контроллером. Все турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT доступны с водяным или воздушным охлаждением, а EBT70F – с конвекционным охлаждением.

Особенности и преимущества:

• Любая ориентация при установке.
• Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
• Непревзойдённая надежность.
• Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
• Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
• Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
• Низкое энергопотребление.
• Опционально коррозионностойкое исполнение.
• Водяное или воздушное охлаждение.
• Компактные размеры.
• Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Применение:

• Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
• Плазмохимическое травление.
• Производство оптических элементов
• Вакуумные печи.
• Производство композитных материалов.
• Научно-исследовательские установки.

Турбомолеклярни насосы EBT производят на специализированном заводе в Германии. Завод входит в состав японского концерна EBARA. Эти насосы вы не найдете на сайте концерна. Турбомолекулярные насосы, из-за своей специфики применение и сложного подбора вынесены на отдельный специализированный сайт по турбомолекулярным насосам.

Продукция EBARA более известна в Украине благодаря центробежным насосам, производимым на итальянских заводах. Вы можете посмотреть стандартную производственную программу насосов в Каталоге насосного оборудования EBARA.