Турбомолекулярные насосы EBT с керамическими подшипниками

Подача Q max, м3/ч: 2000Напор Н max, м: 1000Р max, бар: 97
Подобрать, спросить, уточнить

    Цена от грн
    Профессиональные услуги:
    Консультация эксперта готовы ответить на все вопросы
    Доставка и оплата:
    Доставка и оплата по всей территории Украины
    14 дней на обмен без лишних вопросов

    Турбомолекулярные насосы EBT (EBARA).

    Насосы EBARA с керамическими подшипниками, серия EBT  — это турбомолекулярные насосы с механическими подшипниками, дополняющие линейку турбомолекулярных насосов EMT MagLev. Серия EBT — это экономически эффективные решения для работы в условиях высокого вакуума.

    Чрезвычайно прочная конструкция механического подшипника обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.

    Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.

    Насосы EBT70F и EBT240F оснащены дополнительным встроенным контроллером. Все турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT доступны с водяным или воздушным охлаждением, а EBT70F — с конвекционным охлаждением.

    Особенности и преимущества:

    • Любая ориентация при установке.
    • Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
    • Непревзойдённая надежность.
    • Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
    • Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
    • Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
    • Низкое энергопотребление.
    • Опционально коррозионностойкое исполнение.
    • Водяное или воздушное охлаждение.
    • Компактные размеры.
    • Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

    Применение:

    • Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность.
    • Плазмохимическое травление.
    • Производство оптических элементов
    • Вакуумные печи.
    • Производство композитных материалов.
    • Научно-исследовательские установки.

    Турбомолеклярни насосы EBT производят на специализированном заводе в Германии. Завод входит в состав японского концерна EBARA. Эти насосы вы не найдете на сайте концерна. Турбомолекулярные насосы, из-за своей специфики применение и сложного подбора вынесены на отдельный специализированный сайт по турбомолекулярным насосам.

    Продукция EBARA более известна в Украине благодаря центробежным насосам, производимым на итальянских заводах. Вы можете посмотреть стандартную производственную программу насосов в Каталоге насосного оборудования EBARA.

    Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT — технические характеристики

    Характеристики моделей EBT70F EBT220F EBT240F EBT350F EBT450F
    Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 75 (45) 220 (100) 240 (160) 330 (210) 450 (240)
    Предельное остаточное давление, Па 10-7 10-6 5×10-7 10-6 10-6
    Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108 108
    Размер фланцев (вход/выход) NW63/KF16 NW100/KF25 NW100/KF25 NW100/KF25 NW160/KF25
    Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 25 80 80 80 80
    Время запуска, мин 2-2,5 1-1,2 5,5-7,5 2-2,5 2-2,5
    Время остановки, мин 20-25 2,5-3,5 45-50 5-6,5 5-6,5
    Масса, кг 5 8 10,5 6 10

     

    Характеристики моделей EBT800F EBT1100F EBT1400F EBT2400F
    Быстрота действия по азоту (водороду), л/с 820 (650) 1100 (720) 1400 (750) 2400 (1100)
    Предельное остаточное давление, Па 10-6 10-6 10-6 10-6
    Максимальная степень сжатия по азоту 108 108 108 108
    Размер фланцев (вход/выход) NW160/KF40 NW200/KF40 NW200/KF40 NW250/KF40
    Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин 250 250 250 500
    Время запуска, мин 7-9  7-9 5,5-7 5-7
    Время остановки, мин 27-32 27-32 15-18 15-18
    Масса, кг 27  27 29 47

    Недавно просмотренные товары