Турбомолекулярні насоси EBT з керамічними підшипниками

Насоси EBARA з керамічними підшипниками, серія EBT – це турбомолекулярні насоси з механічними підшипниками, що доповнюють лінійку турбомолекулярних насосів EMT MagLev. Серія EBT – це економічно ефективні рішення для роботи в умовах високого вакууму.

Надзвичайно міцна конструкція механічного підшипника забезпечує чисте і надійне створення вакууму для сучасного високотехнологічного виробництва. Типові області застосування включають напівпровідникові, тонкоплівкові, фотоелектричні і аналітичні прилади.

Турбомолекулярні насоси EBARA серії EBT можуть встановлюватися в будь-якої орієнтації і ідеально підходять для рухливих частин вакуумної камери. Ці насоси забезпечують високу швидкість відкачування і високий ступінь стиснення легкого газу, що робить їх ідеальними для СВ і аналітичних систем.

Насоси EBT70F і EBT240F оснащені додатковим вбудованим контролером. Все турбомолекулярні насоси EBT (EBARA)  доступні з водяним або повітряним охолодженням, а EBT70F – з конвекційним охолодженням.

Особливості та переваги:

• Будь-яка орієнтація при установці.
• Кращі показники по потоку відкачуваного газу.
• Неперевершена надійність.
• Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі скачки тиску при прориві атмосфери.
• Висока стійкість до вібраційних навантажень.
• Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
• Низький рівень споживання енергії.
• Опціонально корозійностійке виконання.
• Водяне або повітряне охолодження.
• Компактні розміри.
• Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.

Застосування:

• Напівпровідникова і мікроелектронна промисловість.
• Плазмохимическое травлення.
• Виробництво оптичних елементів
• Вакуумні печі.
• Виробництво композитних матеріалів.
• Науково-дослідні установки.

Турбомолеклярні насоси EBT виробляються на спеціалізованому заводі в Німеччині.  Завод входить до складу японського концерну EBARA. Ці насоси ви не знайдете на сайті концерну. Турбомолекулярні насоси, через свою специфіку застосування та складніть підбору винесені на окремий спеціалізований сайт по турбомолекулярним насосам.

Продукція EBARA найбільш відома в Україні завдяки відцентровим насосам, що виробляються на італійськиз заводах. Ви можете подивитися стандартну виробничу программу насосів в Каталозі насосного обладнання EBARA.