Турбомолекулярные насосы EMT представляют собой 5-осевые вакуумные насосы с магнитным подвесом, абсолютно безмасляные. Эти насосы подходят для различных применений, начиная с самой жесткой полупроводниковой промышленности, а также там, где необходимо применение сверхвысокого вакуума и сверхнизких вибраций. Помимо стандартной версии, серия EMT предлагает пять основных типов турбомолекулярных насосов – с терморегуляцией, коррозионной стойкостью, ультранизкой вибрацией, радиационной стойкостью и сверхвысоким вакуумом.
Турбомолекулярные насосы серии EMT имеют широкий диапазон давления с максимальным противодавлением до 3 Торр.
Модели турбомолекулярных насосов с регулируемой температурой снижают скорость конденсации побочного продукта и накопления сточных вод, обычно встречающихся внутри турбомолекулярного насоса. Насос с запатентованной теплоизоляционной конструкцией со встроенной системой управления температурой является наиболее энергоэффективным термомолекулярным насосом с регулируемой температурой на рынке.
Турбомолекулярные насосы со сверхвысоким вакуумом эффективно откачивают самые легкие газы из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума, уменьшая выделение газа и повышая эффективность сжатия водорода. Модель сверхвысоковакуумного турбомолекулярного насоса может достигать 10-10 мбар (10-8 Па) с коротким периодом обжига.
Модель турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией отвечает современным требованиям в области литографии EUV, микрообработки (MEMS), измерения ширины линии CD, электронной микроскопии SEM / TEM, аналитических инструментов XPS и нанотехнологий. У турбомолекулярных насосов со сверхнизкой вибрацией амплитуда колебаний составляет менее 1 нм.
Особенности и преимущества:
- Полностью магнитный подвес.
- Любая ориентация при установке.
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры .
- Низкое энергопотребление.
- Опционально коррозионностойкое исполнение.
- Водяное или воздушное охлаждение.
- Компактные размеры.
- Возможность контроля оборотов ротора.
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.
Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.
Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.
Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном – литера B, коррозионно-стойком исполнении – литера C.
Применение:
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
- Производство FDli.
- Плазмохимическое травление.
- Производство оптических элементов.
- Вакуумные печи.
- Имитаторы космического пространства.
- Производство композитных материалов.
- Научно-исследовательские установки.
- Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.
Турбомолеклярни насосы EMT производят на специализированном заводе в Германии. Завод входит в состав японского концерна EBARA. Эти насосы вы не найдете на сайте концерна. Турбомолекулярные насосы, из-за своей специфики применение и сложного подбора вынесены на отдельный специализированный сайт по турбомолекулярным насосам.
Продукция EBARA более известна в Украине благодаря центробежным насосам, производимым на итальянских заводах. Вы можете посмотреть стандартную производственную программу насосов в Каталоге насосного оборудования EBARA.
