Турбомолекулярні насоси EMT – це 5-осьові вакуумні насоси з магнітним підвісом, абсолютно безмасляні. Ці насоси підходять для різних застосувань, починаючи з найжорсткішої напівпровідникової промисловості, а також там, де необхідне застосування надвисокого вакууму і наднизьких вібрацій.
Крім стандартної версії, серія EMT пропонує п’ять основних типів турбомолекулярних насосів:
– з терморегуляцією, корозійною стійкістю, ультранизькою вібрацією, радіаційною стійкістю і надвисоким вакуумом.
Турбомолекулярні насоси серії EMT мають широкий діапазон тиску з максимальним протитиском до 3 Торр.
Моделі турбомолекулярних насосів з регульованою температурою знижують швидкість конденсації побічного продукту і накопичення стічних вод, які зазвичай зустрічаються всередині турбомолекулярного насоса. Насос із запатентованою теплоізоляційною конструкцією з вбудованою системою управління температурою є найбільш енергоефективним термомолекулярним насосом з регульованою температурою на ринку.
Турбомолекулярні насоси з надвисоким вакуумом ефективно відкачують найлегші гази з області високого вакууму в область надвисокого вакууму, зменшуючи виділення газу і підвищуючи ефективність стиснення водню. Модель сверхвисоковакуумних турбомолекулярних насосів може досягати 10-10 мбар (10-8 Па) з коротким періодом випалу.
Модель турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією відповідає сучасним вимогам в області літографії EUV, мікрообробки (MEMS), вимірювання ширини лінії CD, електронної мікроскопії SEM / TEM, аналітичних інструментів XPS і нанотехнологій. У турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією амплітуда коливань становить менше 1 нм.
Особливості та переваги:
- Повністю магнітний підвіс.
- Будь-яка орієнтація при установці.
- Кращі показники по потоку відкачуваного газу.
- Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі скачки тиску при прориві атмосфери.
- Висока стійкість до вібраційних навантажень.
- Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
- Низький рівень споживання енергії.
- Опціонально корозійностійке виконання.
- Водяне або повітряне охолодження.
- Компактні розміри.
- Можливість контролю оборотів ротора.
- Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.
Насоси EMT мають зовнішній контролер ETC011M і виконуються як з водяним, так і з повітряним охолодженням.
Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виконуються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54. Можуть бути виконані в стандартному – літера B, корозійно-стійкому виконанні – літера C.
Застосування:
- Напівпровідникова і мікроелектронна промисловості.
- Виробництво FDli.
- Плазмохімичне травлення.
- Виробництво оптичних елементів.
- Вакуумні пічі.
- Імітатори космічного простору.
- Виробництво композитних матеріалів.
- Науково-дослідні установки.
- Технологічні процеси, де абсолютно неприпустима наявність масла.
Турбомолеклярні насоси EMT виробляють на спеціалізованому заводі в Німеччині. Завод входить до складу японського концерну EBARA. Ці насоси ви не знайдете на сайті концерну. Турбомолекулярні насоси, через свою специфіку застосування і складного підбору винесені на окремий спеціалізований сайт по турбомолекулярним насосам.
Продукція EBARA більш відома в Україні завдяки відцентровим насосам, виробленим на італійських заводах концерну. Ви можете подивитися стандартну виробничу програму насосів в Каталозі насосного обладнання EBARA.
