Турбомолекулярні насоси EMT з магнітним підвісом

Подача Q max, м3/ч: 2000Напор Н max, м: 1000Р max, бар: 97
Підібрати, запитати, уточнити

    Ціна від грн
    Професійні послуги:
    Консультація експерта готові відповісти на всі питання
    Доставка і оплата:
    Доставка і оплата по всій території України
    14 днів на обмін без зайвих питань

    Турбомолекулярні насоси EMT – це 5-осьові вакуумні насоси з магнітним підвісом, абсолютно безмасляні. Ці насоси підходять для різних застосувань, починаючи з найжорсткішої напівпровідникової промисловості, а також там, де необхідне застосування надвисокого вакууму і наднизьких вібрацій.

    Крім стандартної версії, серія EMT пропонує п’ять основних типів турбомолекулярних насосів:
    – з терморегуляцією, корозійною стійкістю, ультранизькою вібрацією, радіаційною стійкістю і надвисоким вакуумом.

    Турбомолекулярні насоси серії EMT мають широкий діапазон тиску з максимальним протитиском до 3 Торр.

    Моделі турбомолекулярних насосів з регульованою температурою знижують швидкість конденсації побічного продукту і накопичення стічних вод, які зазвичай зустрічаються всередині турбомолекулярного насоса. Насос із запатентованою теплоізоляційною конструкцією з вбудованою системою управління температурою є найбільш енергоефективним термомолекулярним насосом з регульованою температурою на ринку.

    Турбомолекулярні насоси з надвисоким вакуумом ефективно відкачують найлегші гази з області високого вакууму в область надвисокого вакууму, зменшуючи виділення газу і підвищуючи ефективність стиснення водню. Модель сверхвисоковакуумних турбомолекулярних насосів може досягати 10-10 мбар (10-8 Па) з коротким періодом випалу.

    Модель турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією відповідає сучасним вимогам в області літографії EUV, мікрообробки (MEMS), вимірювання ширини лінії CD, електронної мікроскопії SEM / TEM, аналітичних інструментів XPS і нанотехнологій. У турбомолекулярних насосів з наднизькою вібрацією амплітуда коливань становить менше 1 нм.

    Особливості та переваги:

    • Повністю магнітний підвіс.
    • Будь-яка орієнтація при установці.
    • Кращі показники по потоку відкачуваного газу.
    • Унікальна конструкція підшипникового вузла, здатна витримувати різкі скачки тиску при прориві атмосфери.
    • Висока стійкість до вібраційних навантажень.
    • Можливість установки на рухливі частини вакуумної камери.
    • Низький рівень споживання енергії.
    • Опціонально корозійностійке виконання.
    • Водяне або повітряне охолодження.
    • Компактні розміри.
    • Можливість контролю оборотів ротора.
    • Система автоматичного калібрування і стабілізації становища підшипникових вузлів.

    Насоси EMT мають зовнішній контролер ETC011M і виконуються як з водяним, так і з повітряним охолодженням.

    Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виконуються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.  Можуть бути виконані в стандартному – літера B, корозійно-стійкому виконанні – літера C.

     

    тукбомолекулярні насоси EMT з магнітним підвісом: коротко про переваги та особливості

    Застосування:

    • Напівпровідникова і мікроелектронна промисловості.
    • Виробництво FDli.
    • Плазмохімичне травлення.
    • Виробництво оптичних елементів.
    • Вакуумні пічі.
    • Імітатори космічного простору.
    • Виробництво композитних матеріалів.
    • Науково-дослідні установки.
    • Технологічні процеси, де абсолютно неприпустима наявність масла.

    Турбомолеклярні насоси EMT виробляють на спеціалізованому заводі в Німеччині. Завод входить до складу японського концерну EBARA. Ці насоси ви не знайдете на сайті концерну. Турбомолекулярні насоси, через свою специфіку застосування і складного підбору винесені на окремий спеціалізований сайт по турбомолекулярним насосам.

    Продукція EBARA більш відома в Україні завдяки відцентровим насосам, виробленим на італійських заводах концерну. Ви можете подивитися стандартну виробничу програму насосів в Каталозі насосного обладнання EBARA.

    Технічні характеристики турбомолекулярних насосів EMT

    Характеристики моделей EMT390M EMT420M EMT900M EMT1300M EMT2400M EMT3260M
    Швидкість дії по азоту (водню), л / с 340 (290) 400 (300) 900 (1050) 1300 (1200) 2400 (1100) 3200 (2700)
    Граничний залишковий тиск, Па 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6 10-6
    Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108 108 108 108
    Максимальний газовий потік по азоту (аргону), Па * л / c 3680(1290) 3680(1290) 5520(2760) 5520(2760) 5520(3680) 5520(3680)
    Швидкість обертання ротора об / хв 40800 48000 33600 33600 33600 33600
    Розмір фланців (вхід / вихід) NW100/NW25 NW160/NW25 NW160/NW25 NW200/NW40 NW250/NW40 NW320/NW40
    Допустимий вихідний тиск, Па 400 400 500 500 200 400
    Тривалість запуску, хв 2-3 2-3 4-5 4-5 4-5 4-5
    Тривалість зупинки, хв 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5 4-5
    Маса, кг 14 14 34 34 45 80

    Технічні характеристики EBARA серії EMT-K
    (З магнітним підвісом і вбудованим контролером)

    Насоси EMT-K мають вбудований контроллер і виконуються тільки з водяним охолодженням і фланцем стандарту ISO на всмоктуванні. Захищені за стандартом IP54.

    Характеристики моделей EMT2200MK EMT3300MK EMT4200MK
    Швидкість дії по азоту (водню), л / с 2200 (1800) 3200(2700) 4200(2800)
    Граничний залишковий тиск, Па 10-6 10-6 10-6
    Максимальний ступінь стиснення по азоту 108 108 108
    Розмір фланців (вхід / вихід) ISO-B250/NW40(NW50) ISO-B320/NW40 ISO-B350/NW40-50
    Допустимий вихідний тиск, Па 400 400 160
    Максимальний газовий потік по азоту (аргону), Па * л / c 4400 4000 2500
    Тривалість запуску, хв 7-10 10-12 12-14
    Маса, кг 63 69 75

     

    Недавно дивилися